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光学石英材料

合成石英玻璃牌号ZS,即以前所称的JGS1,一般采用化学气相沉积法(CVD),将气态高纯四氯化硅在氢氧火焰中水解和熔融制成,大尺寸坯片还需高温槽沉获得。其特点是紫外至近红外波段透过率高,200 nm透过率高达90%以上。且产品无荧光,无气泡,无条纹,应力可达2 nm/cm,是普通光学材料所不可代替的。因为产品含有1100 ppm左右的羟基,导致其在红外波段(特别是2730 nm)有较强的吸收。
熔融石英玻璃,是用氢氧火焰熔融高纯石英砂制成的透明石英砣,经热整形得到规格更大、均匀性更好的石英锭和石英板,再经精密退火获得更好应力(≤3nm/cm)。其特点是热膨胀系数低(5.5×10-7)、热稳定好、物理机械性能强,主要用于恶劣环境下的大中型反射镜。
红外石英玻璃牌号HS,即以前所称的JGS3,一般由电熔或等离子体(PCVD)工艺制造。其最大优点是羟基含量极低(≤1ppm),在2730nm波段无吸收,弥补了合成石英玻璃的不足。等离子体工艺制得的高纯石英玻璃可在全光谱波段(190nm~3500nm)使用。
石英玻璃虽然是最佳光学材料,但在某个波段仍难以胜任极高要求,所以根据客户要求,在石英玻璃基片上进行镀膜阻止或增透,来满足设计要求。

半导体石英材料

高纯石英玻璃采用CVD或PCVD法制得。该产品具有纯度高、无气泡、无条纹的特性,且无荧光、物理性能优越(见表),应力可达2nm/cm以内。根据生产工艺的不同羟基含量有所差异,可满足不同客户需求。
采用火焰熔融法,生产透明石英圆砣。可加工成透明石英圆片、方片、法兰等,用于视窗及半导体石英配件等材料。也可以经过再次热整形(槽沉)得到特殊规格的透明石英锭、石英板;同时还可以通过拉制工艺制成透明石英管、石英棒。用于半导体配件材料、光导纤维制造辅料。
低羟基石英玻璃采用等离子火焰法工艺制造,可生产圆砣后经过再加工成石英片、石英法兰、石英管、石英棒等。优点是羟基含量低(≤8ppm),被广泛用于半导体配件材料。
采用旋转工艺,生产特殊壁厚的乳白石英管材,可作为焙烧炉管及隔热用材料;采用气炼工艺生产不透明石英玻璃,可加工成乳白石英板。有着良好的隔热和耐温性能,主要应用于半导体加工中的隔热配件。

新闻资讯

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2022-01

石英玻璃的光学特性是独特的。它不仅能透射远紫外光谱,还能透射可见光和近红外光谱,优于所有的紫外透射材料。用户可以根据需要从185-3500 m波段选择所需的品种。由于石英玻璃具有耐高温、极小的热膨胀系数、良好的化学和热稳定性、气泡、条纹、均匀性和双折射与普通光学玻璃相当,因此它是光学系统在各种恶劣环境下具有高稳定性的重要光学材料。

10

2022-01

石英玻璃原料是制造二氧化硅薄膜、石英锡、石英玻璃、太阳能电池、光通信电缆等高性能材料的主要原料,也是半导体行业的主要塑料原料,在制备单晶硅和多晶硅等方面具有很高的附加值,是当今高技术产品的重要基础,是一个国家高技术可持续发展的必要条件,在国民经济中发挥着重要作用。

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2021-12

石英玻璃含有石英、硅等二氧化硅物质。四氧化硅是在原料的高温下熔化而成的。其二氧化硅含量远高于普通玻璃,普通石英玻璃二氧化硅含量为99.999%。

10

2021-12

在日常生活中,我们经常会接触到各种类型的玻璃材料,除了传统的平板玻璃外,还有超白玻璃、高硼硅玻璃等具有特殊性能的玻璃材料,以及中空玻璃、夹层玻璃等常见材料。让我们来看看JGS1石英玻璃的优点,以及它和水晶的成分区别。

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