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本公司生产的乳白石英玻璃，采用气炼工艺生产不透明石英玻璃HPR3004A，可加工成乳白石英板；采用旋转工艺，生产特殊壁厚的乳白石英管材HPR3004B，可作为焙烧炉管及隔热用材料。
该产品有着良好的隔热和耐温性能，主要应用于半导体加工中的隔热配件。
金属杂质与羟基含量(ppm)
|
型号 |
Al |
Fe |
Ca |
Mg |
Ti |
Cu |
Mn |
Ni |
Co |
B |
K |
Na |
Li |
OH |
|
HPR3004A |
11.5 |
0.03 |
0.45 | 0.02 | 0.5 | 0.04 | 0.02 | 0.03 | 0.03 | 0.02 | 0.49 | 1.25 | 0.59 |
～200 |
|
HPR3004B |
25 |
1 |
1.5 |
0.75 |
1.2 |
0.55 |
0.42 |
0.1 |
0.1 |
0.05 |
2.5 |
5 |
2.5 |
～20 |
透过率 T10mm
| 型号 |
400nm |
500nm |
600nm |
700nm |
|
HPR3004 |
1.00% |
1.20% |
1.20% |
1.20% |
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