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高纯乳白石英玻璃 HPR3004

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概要: 采用旋转工艺,生产特殊壁厚的乳白石英管材,可作为焙烧炉管及隔热用材料;采用气炼工艺生产不透明石英玻璃,可加工成乳白石英板。有着良好的隔热和耐温性能,主要应用于半导体加工中的隔热配件。

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高纯乳白石英玻璃 HPR3004


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  采用旋转工艺,生产特殊壁厚的乳白石英管材,可作为焙烧炉管及隔热用材料;采用气炼工艺生产不透明石英玻璃,可加工成乳白石英板。有着良好的隔热和耐温性能,主要应用于半导体加工中的隔热配件。

 

金属杂质含量(ppm) 

型号

Al

Fe

Ca

Mg

Cu

K

Na

Li

HPR3004A

25.0

0.5

0.8

0.1

0.1

1.6

2.2

0.3

HPR3004B

45.0

1.0

1.5

0.75

0.15

2.5

5.0

1.5

透过率 T4mm

型号

400nm

500nm

600nm

700nm

HPR3004

1.0%

1.2%

1.2%

1.2%

物理机械性能

密度

1.95 g/cm3

抗压强度

1000 N/mm2

热膨胀系数(20℃-300℃)

5.4x10-7/℃

热导率(20℃)

1.24 W/m℃

比热(20℃)

650 J/kg℃

软化点

1600 ℃

退火点

1100 ℃

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