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采用旋转工艺,生产特殊壁厚的乳白石英管材,可作为焙烧炉管及隔热用材料;采用气炼工艺生产不透明石英玻璃,可加工成乳白石英板。有着良好的隔热和耐温性能,主要应用于半导体加工中的隔热配件。
金属杂质含量(ppm)
型号 |
Al |
Fe |
Ca |
Mg |
Cu |
K |
Na |
Li |
HPR3004A |
25.0 |
0.5 |
0.8 |
0.1 |
0.1 |
1.6 |
2.2 |
0.3 |
HPR3004B |
45.0 |
1.0 |
1.5 |
0.75 |
0.15 |
2.5 |
5.0 |
1.5 |
透过率 T4mm
型号 |
400nm |
500nm |
600nm |
700nm |
HPR3004 |
1.0% |
1.2% |
1.2% |
1.2% |
物理机械性能 |
|
密度 |
1.95 g/cm3 |
抗压强度 |
1000 N/mm2 |
热膨胀系数(20℃-300℃) |
5.4x10-7/℃ |
热导率(20℃) |
1.24 W/m℃ |
比热(20℃) |
650 J/kg℃ |
软化点 |
1600 ℃ |
退火点 |
1100 ℃ |
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